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    1. 臺階儀工業測量儀器:揭秘多領域應用

      發布時間:2023-11-2 15:32    發布者:szzhongtu5
      關鍵詞: 臺階儀 , 膜厚儀 , 表面形貌測量
      臺階儀是一種常見的工業測量儀器,廣泛應用于大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域。它能完成對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

      工作原理
      當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

      CP200臺階儀采用線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃,具有良好的測量精度及重復性。高信噪比和低線性誤差,使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征?梢詼y量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等,沒有特別的要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。

      典型應用
      1、半導體應用
      (1)沉積薄膜的臺階高度
      (2)抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度
      (3)蝕刻速率測定
      (4)化學機械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲)
      2、大型基板應用
      (1)印刷電路板(突起、臺階高度)
      (2)窗口涂層
      (3)晶片掩模
      (4)晶片卡盤涂料
      (5)拋光板
      3、玻璃基板及顯示器應用
      (1)AMOLED
      (2)液晶屏研發的臺階步級高度測量
      (3)觸控面板薄膜厚度測量
      (4)太陽能涂層薄膜測量
      4、柔性電子器件薄膜應用
      (1)有機光電探測器
      (2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜
      (3)觸摸屏銅跡線


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